一种TiLaN复合薄膜的制备方法及耐磨制品

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本发明属于磁控溅射制备镀覆层领域，具体涉及一种TiLaN复合薄膜的制备方法及耐磨制品。该方法包括以下步骤：(1)采用磁控溅射方式在基体上镀覆稀土合金过渡层；所述稀土合金过渡层由La和Ti组成，La为合金元素；(2)采用磁控溅射方式在稀土合金过渡层上镀覆TiLaN膜层；TiLaN膜层由以下质量分数的组分组成：Ti 55.3‑59.2％，La 4.1％‑6.9％，N 26.2‑30.8％，其余为O。本发明的TiLaN复合薄膜的制备方法，在磁控溅射TiN薄膜时掺杂稀土元素La，实现了复合薄膜的稀土改性，所得复合薄膜具有良好的硬度和摩擦学性能。