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本发明公开了一种高频性能优良的铁基纳米晶软磁合金及其制备方法。该合金的表达式为FeaSibPcCuxMy,其中a、b、c、x和y分别表示各对应组分的原子百分比含量,且满足以下条件:70≤a≤85,5≤b≤15,5≤c≤18,0.0001≤x≤3,0≤y≤5,a+b+c+x+y=100%,所述M为Zr、Ti、Ta、Hf、Nb、V、W、Mo、Mn、Cr、Re、Zn、In、As、Sb、Bi、Ca、铂族元素、稀土元素、N、Sn、Ge、Ga、Al中的一种或多种。该合金是在高真空和氩气保护下采用单辊急冷法制备的纳米晶软磁合金带材,该合金不含有B元素、软磁性能好、热稳定性高、高频损耗低、磁致伸缩系数低。