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本发明提供了一种用于校准纳米压痕仪的高硬度值纳米硬度标准物质的制备方法。具体而言,首先将钨源、碳源和还原剂混合进行高温液相反应,制得WC纳米颗粒,然后通过高温液相反应进行原位包覆稀土氧化物晶粒生长抑制剂,最后与球形纳米Co粉进行湿法球磨得到WC Co粉体。经过除杂、成型、压制、脱胶、煅烧、切割和抛光得到硬质合金标准样块。本发明研制的硬质合金标准物质对微纳技术计量标准化研究而言,能够满足纳米压痕仪在高硬度值区间的仪器校准与建立溯源链的需求。另外,纳米钨系硬质合金标准物质可以填补国内外刚性纳米硬度标准物质的空白,满足相关检测技术研究、产品仲裁和国际比对的需求。