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本发明涉及太阳能电池领域，具体公开了一种异质结太阳能电池，其包括晶体硅片，依次位于晶体硅片的一侧上的第一本征层、第一掺杂非晶硅层、第一透明导电层、及第一电极，以及位于晶体硅片的另一侧的第二电极；其中，第一透明导电层为稀土元素掺杂的透明导电氧化物，透明导电氧化物选自氧化铟锡或掺钨氧化铟。上述异质结太阳能电池，稀土可使太阳光中的紫外光转化为可见光，主要是蓝光和红光；同时稀土与ITO/IWO复合可以形成复合光催化剂，实现光增益，从而使更多的光能进入吸收层中，从而提高光生载流子，有效提高电池短路电流，从而提高整个电池的性能。本发明还公开了一种异质结太阳能电池的制备方法。