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场效应晶体管,包括:基体材料;钝化层;在它们之间形成的栅绝缘层;源电极和漏电极,其形成为与所述栅绝缘层接触;在至少所述源电极和所述漏电极之间形成的且与所述栅绝缘层、所述源电极和所述漏电极接触的半导体层;和与所述栅绝缘层接触且经由所述栅绝缘层面对所述半导体层的栅电极,其中所述钝化层包含第一钝化层和形成为与该第一钝化层接触的第二钝化层,所述第一钝化层包含含有Si和碱土金属的第一复合金属氧化物,且所述第二钝化层包含含有碱土金属和稀土元素的第二复合金属氧化物。