一种甲醇环境耐蚀耐磨导电六硼化镧复合碳薄膜及其制备方法

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本发明提供一种甲醇环境耐蚀耐磨导电六硼化镧复合碳薄膜，是采用多靶磁控溅射沉积系统，在基体表面依次沉积Cr层、CrN层、CrC层、CrCx(LaB6)y、Cx(LaB6)y而得。本发明在基底表面引入稀土元素Cr、La，不仅可以形成非晶纳米晶复合结构，同渐变同层结构的多界面共同作用，提高了基底的耐腐蚀性能；六硼化镧的多电子发生性能提高了等离子离化率，促进碳结构的石墨化，提高复合薄膜的导电性能；通过多层结构设计形成多界面阻隔层，防止多次冲击磨损导致的裂纹，为腐蚀液体提供离子通道的可能，并提高了基底承载力；利用高功率脉冲磁控溅射技术，赋予Cr更高的离化率和离子能量，形成多层结构与基底的高强度粘结。