一种稀土铥离子注入二氧化钛晶体的制备方法

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一种稀土铥离子注入二氧化钛晶体的制备方法，属于二氧化钛晶体的制备方法。该二氧化钛晶体的制备方法利用离子注入技术在二氧化钛(TiO2)晶体中注入稀土铥离子，注入后样品在氧氛围中高温退火处理；首先采用40keV-350keV范围内五种不同能量，总剂量为1.25×1015离子/平方厘米的铥离子注入二氧化钛晶体表面，注入靶室温度为600℃；注入后样品在800℃～1000℃温度范围内进行退火处理；所制备的铥离子注入二氧化钛晶体可以在1420nm-1450nm波段有效实现Tm元素荧光发射。优点：采用多能量及多剂量的铥离子注入TiO2晶体在较宽深度范围内获得较均匀的铥离子浓度分布，采用600℃高温靶室注入减少了晶格损伤；制备的铥离子注入二氧化钛晶体在800℃高温退火30分钟之后，获得最佳的1420nm-1450nm波段的Tm元素荧光发射。