稀土类薄膜磁铁及其制造方法以及稀土类薄膜磁铁形成用靶

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本发明系一种稀土类薄膜磁铁，以Nd、Fe、B为必须成分，其特徵在於：由α-Fe相与Nd2Fe14B相三维地交替排列之组织构成，各相之平均晶粒粒径为10~30nm。本发明之课题在於提供一种量产性、再现性优异，具有良好之磁特性之稀土类薄膜磁铁及其制造方法以及用以制作该薄膜之靶。