一种铒单掺二氧化钒多晶薄膜的制备方法

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一种铒单掺二氧化钒多晶薄膜的制备方法，它涉及稀土掺杂二氧化钒薄膜的制备方法。本发明的目的是要解决现有基质材料仅仅具有发光性能，不具有其他功能特性的问题。方法：一、制备Er2O3圆形陶瓷片；二、射频反应溅射；三、热处理，得到铒单掺二氧化钒多晶薄膜。本发明制备出铒单掺二氧化钒多晶薄膜具有明显的单色绿光发射同时具有明显的金属绝缘相变特性，制备出具有丰富功能的上转换发光材料。本发明制备的铒单掺二氧化钒多晶薄膜具有明显的绿光发射；因此本发明制备的铒单掺二氧化钒多晶薄膜可以成为新的单色绿光上转化发光材料。本发明可获得一种铒单掺二氧化钒多晶薄膜的制备方法。