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一种用于蓝宝石衬底的研磨液组合物及其制备方法

2025-07-28 05:054370下载
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一种用于蓝宝石衬底的研磨液组合物,其特征在于,由以下重量份数的组分制成:去离子水80份、碳化钨10份、碳化铬5份、氮化钛5份、镍粉5份、煅烧高岭土0.2份、钨酸盐0.2份、重稀土0.1份、氧化锆2份、亚麻油2份、纳米碳化钛5份、环氧大豆油2份、二苯基硅二醇3份、非晶态二氧化硅3份、磷钨酸钾3份、环已酮1.5份、甲基丙稀酸甲酯1.5份、苯甲酸0.5份、醋酸乙酯0.5份;制备时,将上述各组分混合搅拌均匀,在研磨机内研磨到细度小于等于5微米,装罐即可。本发明成分简单,成本低,制作工艺易实现,研磨的蓝宝石衬底表面粗糙度低、平整度好、无明显划痕且易于清洗,符合工业生产的需求。


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