陶瓷加热器及其制造方法

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本发明的目的在於不使用虚置元件，而提高陶瓷加热器的加热面的温度的均一性。本发明的陶瓷加热器的制造方法为，在体积电阻率1015Ωcm以上的氮化铝烧结体构成的一对的外层30、30，中间隔着金属网状物构成的电阻发热体14、16，而夹住以氮化铝粉末作为主体、且包含0.03~1重量%的稀土类氧化物粉末的低温烧结原料粉构成的内层成形体32的正反两面的状态下，於1600~1750℃煅烧而得到陶瓷加热器10。