具有掺杂压电材料和框架元件的体声波谐振器

文件类型：PDF文档
文件大小：1827K
本发明涉及具有掺杂压电材料和框架元件的体声波谐振器。一种体声波BAW谐振器包含第一电极、第二电极和安置于所述第一电极与所述第二电极之间的压电层。所述压电层包含掺杂有至少一种稀土元素的压电材料。在一实施例中，所述BAW谐振器包含安置于所述第一电极和所述第二电极中的至少一者的表面上的凹陷框架元件。在另一实施例中，所述BAW谐振器包含安置于所述第一电极和所述第二电极中的至少一者的表面上的凸起框架元件。在又其它实施例中，所述BAW谐振器包含所述凸起框架元件与所述凹陷框架元件两者。