一种稀土四氟化物NalnF4薄膜及其制备方法

文件类型：PDF文档
文件大小：2071K
本发明公开了一种稀土四氟化物NalnF4薄膜及其制备方法，包括以下步骤：以稀土硝酸盐的水溶液作为电沉积溶液，采用脉冲电压沉积法制备得到稀土层状氢氧化物薄膜；将氟化钠溶解获得溶液，调节pH值；将所述稀土层状氢氧化物薄膜浸没于所述氟化钠溶液中，进行置换反应，得到稀土四氟化物薄膜。本发明提供的制备方法反应条件温和、操作简单，制备得到的稀土四氟化物薄膜平整且均匀，薄膜附着度高，结晶性好。