研磨材粒子、研磨材之制造方法及研磨加工方法

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本发明的课题在于提供：抛光材料粒子，其具有适合于精密抛光的抛光性能，并且具有高的抛光速度和高的单分散性； 包含所述抛光材料颗粒的抛光材料； 以及使用该抛光材料的抛光处理方法。 本发明的研磨材料粒子的特征在于，是平均纵横比为1.00～1.15的球状粒子， 其中由粒径累积分布曲线确定的抛光材料颗粒的粒径(d50(nm))在50-1500nm的范围内， 以及铈的平均含量或铈与选自镧(La)中的至少一种元素的总含量， 抛光材料颗粒中的镨(Pr)，钕(Nd)，钐(Sm)和铕(Eu)相对于构成抛光材料颗粒的所有稀土元素的总含量为81摩尔%或更高。