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显示装置用Al合金膜

2025-06-23 15:082200下载
文件类型:PDF文档
文件大小:7143K
提供一种显示装置用Al合金膜,其即使曝露在450~600℃左右的高温下也不会发生小丘,高温耐热性优异,膜自身的电阻(互连电阻)也低,碱性环境下的耐腐蚀性也优异。一种显示装置用Al合金膜,其含有从Ta、Nb、Re、Zr、W、Mo、V、Hf和Ti所构成的X群中选择的至少一种元素、和稀土类元素的至少一种,进行450~600℃的加热处理时,满足下述(1)的要件。(1)在含有Al、从X群中选择的至少一种元素、稀土类元素的至少一种的第一析出物中,当量圆直径20nm以上的析出物以500000个/mm2以上的密度存在。


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