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本发明提供一种技术,在薄膜晶体管基板、反射膜、反射阳极电极、触摸屏传感器等的制造工序中,能够有效防止氯化钠溶液的浸渍下的Al合金表面的腐蚀和针孔腐蚀(黑点)等的腐蚀,耐腐蚀性优异,而且能够防止小丘的生成且耐热性也优异的Al合金膜。本发明的Al合金膜,是用于配线膜或反射膜的Al合金膜,其中,含有Ta和/或Ti:0.01~0.5原子%、稀土类元素:0.05~2.0原子%。
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