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本发明属于稀土陶瓷材料制备领域，具体涉及一种低孔隙率耐等离子腐蚀氧化钇复合陶瓷涂层粉末的制备方法。先采用草酸沉淀法制备氧化钇粉体；再将氧化钇粉体、99.9％的钛粉和水加入卧式研磨机中研磨，之后将增稠剂加入浆料中搅拌，然后将浆料通过喷雾造粒得到球形粉体；最后在高温炉中进行煅烧，得到耐等离子腐蚀热喷涂用氧化钇复合陶瓷球型颗粒。