氮化铝基复合材料及其制造方法、以及半导体制造装置用部件

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本发明提供一种具有与氧化铝同等或其以上的耐蚀性或体积电阻率，且具有比氧化铝更高的热传导率的新颖材料。本发明的氮化铝基复合材料之除稀土金属外过渡金属、硷金属、硼的各元素分别为1000ppm以下，热传导率为40~150W/mK，热膨胀系数为7.3~8.4ppm/℃，体积电阻率为1×1014Ωcm以上；作为组成相(constituent phases)系含有AlN和MgO，进而含有从由稀土金属氧化物、稀土金属-铝复合氧化物、硷土金属-铝复合氧化物、稀土金属氧氟化物、氧化钙和氟化钙构成的群组中所选择的至少一种。