一种注入稀土元素的白光发射氮化铝材料、制备方法及应用

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本发明涉及一种注入稀土元素的白光发射氮化铝材料、制备方法及应用。将厚度为50nm～100nm的氮化铝薄膜材料置于离子注入装置中，分别进行Pr、Er和Tm稀土离子的注入和退火处理，注入的能量范围为200～400KeV，注入角度为0～100，各离子的注入剂量相同，分别为1014～1016个/平方厘米。制备得到的氮化铝材料具有白光发射功能，它可以作为核心功能材料，应用于光发射二极管、平板显示等领域中。