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本发明公开了光微波催化氧化处理有机废气的方法,将碱液喷到波纹板上形成液膜,使液膜与有机废气充分接触发生物理溶解和化学反应形成预处理,将已预处理的有机废气网滤后进行微波辐射,使有机废气中的分子链进行第一次破坏,用高能C波段紫外线对有机废气进行照射,使有机废气中的分子链进行第二次破坏,用羟基自由基对有机废气进行第一次氧化,用高臭氧HV紫外线光束产生的臭氧对有机废气进行第二次氧化,将已脱臭和灭菌的有机废气经过以二氧化钛为蜂窝载体的稀土氧化物催化剂进行第三次催化氧化,可有效地将有机废气中高分子污染物和高分子污染物分子链全部分解、裂解后催化氧化成低分子无害物质,加快了催化氧化速度,缩短了处理时间,节约了电能。