含稀土元素的玻璃材料和基板以及包括这种基板的器件

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一种含稀土的玻璃材料，按照以氧化物为基准的摩尔百分数表示，该材料具有包含以下组分的组成：SiO2：66-75；Al2O3：11-17；B2O3：0-4；MgO：1-6.5；CaO：2-7；SrO：0-4；BaO：0-4；Y2O3：0-4；La2O3：0-4；Y2O3+La2O3：0.1-4。该组成中包含Y2O3和/或La2O3能降低玻璃的T2.3，因此能够制造较高退火点的玻璃。这种玻璃特别能用于低温多晶硅基半导体器件。