半导体集成电路用绝缘膜研磨剂组合物及半导体集成电路的制造方法

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为了对应用于半导体集成电路的、由具有C－Si 键及Si－O键的有机硅材料形成的绝缘膜的表面进行研磨，采 用包含水以及选自稀土类氢氧化物、稀土类氟化物、稀土类氟 氧化物、氧化铈以外的稀土类氧化物及它们的复合化合物的1 种或1种以上的特定稀土类化合物的粒子的研磨剂组合物或其 中还含有氧化铈粒子的研磨剂组合物。这样可形成无或较少产 生裂缝、擦痕及膜剥离等缺陷的高品质的研磨表面。