一种太阳能电池的钝化层及其制备工艺

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本发明公开了一种太阳能电池的钝化层及其制备工艺，其特征是钝化层是由稀土氮化物构成。钝化层的制备工艺为当P型晶体硅完成沉积减反射膜工序后，先采用有机化学气相沉积方法(MOCVD)在P型晶体硅衬底的P型一侧沉积稀土氮化物钝化层，然后在同一腔室内，在稀土氮化物钝化层上沉积铝保护膜，完成钝化层的制备。本发明因采用稀土氮化物制作晶硅电池的钝化层，晶格匹配良好，且具有场效应钝化和化学钝化的双重作用，所以钝化效果良好。稀土氮化物钝化层由MOCVD方法制备，获得的钝化层晶体结构完整，缺陷密度低，与晶硅衬底晶格匹配性好，保证了电池的钝化效果。