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具可调功函数之金属电极

2025-06-20 13:194590下载
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文件大小:9962K
本文公开的结构及方法包含改变磊晶电极材料中的金属合金层的组成,以实现电极的可调功函数在一个示例中,使用分层结构实现可调功函数,其中结晶稀土氧化物(REO)层磊晶在基板或半导体上,金属层在结晶稀土氧化物层上因此,半导体层依次在金属层上磊晶生长,在半导体层上具有金属合金层,透过调整金属合金中的成分比例来调节金属层的功函数


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