稀土金属或稀土金属之氧化物所构成之靶的保存方法

文件类型：PDF文档
文件大小：15932K
一种稀土金属或其氧化物所构成之靶的保存方法，系用以保存稀土金属或其氧化物所构成之靶，其特徵在於，於该靶之保存用容器或膜状密封件中，导入与所保存之稀土金属或其氧化物靶相同的稀土金属之氧化物作为乾燥剂，然後将该保存用容器或膜状密封件加以封闭进行保存。系对稀土金属或其氧化物所构成之靶的保存方法进行改进，其课题在於提供一种抑制因空气之侵入所造成之靶的氧化及氢氧化而导致的粉末化，而可进行长时间之保存的技术。