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本发明公开了一种稀土掺杂的氮氧化物荧光粉的制备方法,根据氮氧化物荧光粉的化学式A1-xByOzN2/3+4/3y-2/3z : xRE,将A元素的碳酸盐或其氧化物、Eu或Ce的氧化物与B元素的氮化物混合,充分研磨后得到混合物;加入助熔剂,研磨混匀后,依次经过保护气氛,氧化气氛以及还原气氛,冷却至室温得到氮氧化物荧光粉。本发明提供的稀土掺杂的氮氧化物荧光粉的制备方法,通过微氧化烧结法一次完成,可操作性强,原料价格低廉,工艺窗口宽,适于大规模工业化生产。