萤光粉之物理制作方法及其萤光粉及其照明结构

文件类型：PDF文档
文件大小：2832K
本發明係關於一種螢光粉之物理製作方法及其螢光粉及其應用時之照明結構，製作方法係於石英基板上磁控濺鍍氧化鋅以及鋁或錳，再將摻雜有鋁或錳的氧化鋅薄膜進行退火，使位於石英基板的矽原子擴散至此薄膜並進而形成摻鋁之矽酸鋅薄膜或摻錳之矽酸鋅薄膜，其表面具有複數個呈顆粒狀的奈米結晶，具有螢光粉之性質，不需要用到稀土元素。而於應用時，摻金屬之矽酸鋅薄膜將以反向照光激發的方式進行照明。