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本发明提供一种碳纳米管的制备方法,其包括如下步骤:(a)、对玻璃基板使用去离子水进行清洗、烘干处理;(b)、然后在(a)步骤中处理过的玻璃基板上溅射铁、钴、镍及其合金薄膜作为催化剂;(c)、然后在(b)步骤中得到的薄膜上接着溅射一层稀土金属的氟化物薄膜;(d)、然后在催化剂薄膜上常规技术生长碳纳米管,生长温度为450-600℃。
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