蚀刻设备之加热装置

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本发明系提供一种蚀刻设备的加热装置, 其系为中空管体, 并具有复数根穿越该中空管体内部空间的输送管, 且於该中空管体两端各设有一通孔, 其特徵在於该中空管体之管体外围镀覆有一发热膜体, 该发热膜体系包含具有稀土族物质之耐热材料。藉此, 本发明之加热装置具有较佳之受热强度及散热特性, 进而具有较佳的发热稳定度, 易於受热, 效率更高, 更节省能源。