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一种氮化硅耐磨部件是由氮化硅烧结体形成的,该氮化硅烧结体含有以其氧化物计2-4质量%的用作烧结助剂的稀土元素、以其氧化物计2-6质量%的Al组分、及2-7质量%的碳化硅。该氮化硅烧结体具有1%或更低的孔隙率、800-1000MPa的三点弯曲强度、及5.7-6.6MPa·m1/2的断裂韧度。根据该结构,即使使用金属氮化方法制造的便宜的氮化硅粉末,也可以提供一种氮化硅耐磨部件及制造该部件的方法,该部件具有可与普通氮化硅烧结体相比或更高的机械强度、高的抗磨损特性和滚动寿命,且具有出色的可加工性。