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本发明公开了一种复合热障涂层及其制备方法,1)采用薄膜制备工艺,在陶瓷层表面上沉积一层1-10μm的R2O3薄膜,R为Nd,Sm,Eu,Gd或Tb中的一种或两种以上组合;2)将镀膜后的热障涂层陶瓷层置于电阻炉中,在空气条件于1000-1400℃对YSZ陶瓷层以及表面的R2O3薄膜进行扩散烧结,使得在陶瓷层表面区域形成R2Zr2O7稀土锆酸盐陶瓷层。本发明在热障涂层YSZ陶瓷层上方复合一个1-10μm的R2Zr2O7稀土锆酸盐陶瓷层,降低了陶瓷层整体的电导率和透氧率,提高了热障涂层热稳定性。YSZ陶瓷层从最顶层逐渐过渡成为稀土锆酸盐陶瓷层,使得陶瓷层的抗氧化性和热稳定性提升,使用寿命增长。