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一种掺稀土光纤预制棒的制造方法,涉及光纤预制棒领域,包括如下步骤:S1.将柱形稀土材料预制靶棒安装在石英玻璃的衬底管内的进气端,再将所述衬底管安装在化学气相沉积设备上;S2.将激光聚焦于所述稀土材料预制靶棒,通入由氧气、氯气、四氯化硅气体、四氯化锗气体、以及氟的碳化物组成的混合气体,进行沉积形成光纤芯棒预制件;S3.将所述光纤芯棒预制件利用高温熔缩,形成透明的光纤预制棒。该方法增大光纤预制棒芯区直径,能够大幅度提高掺稀土光纤预制棒的生产制造效率、稀土离子掺杂均匀性,降低光纤预制棒无效杂质含量,同时降低生产成本,便于规模化生产的推广。