显示装置用铝合金膜

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本发明系提供一种显示装置用Al合金膜，其系即使曝露於450~600℃左右的高温下亦不产生突点(hillock)而高温耐热性优异，且膜本身之电阻(配线阻抗)亦低，硷环境下之耐蚀性亦优异者。本发明之显示装置用Al合金膜，其系含有选自由Ta、Nb、Re、Zr、W、Mo、V、Hf及Ti所构成之X群的至少一种元素、与稀土族元素之至少一种；进行450~600℃之加热处理时，满足下述(1)之要件；(1)对於含有Al、自X群所选出的至少一种元素、与稀土族元素之至少一种的第1析出物，以相当圆直径20nm以上之析出物为500, 000个/mm 2 以上之密度存在。