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本发明属于发光材料领域，其公开了一种锰掺杂硅铝氮氧发光薄膜及其制备方法、有机电致发光器件；该锰掺杂硅铝氮氧发光薄膜包含如下化学组分(质量百分比)：Al2O3、0.05～5％；MnO2、0.01～1.5％；余量为Si3N4。本发明采用磁控溅射设备，制备锰掺杂硅铝氮氧发光薄膜，该薄膜材料不含贵金属稀土等元素，且制备简单，成本低廉，该薄膜的发光谱中，可以蓝光区发光，覆盖了490～550nm整个蓝光的波长范围，可弥补LED显示和照明中的蓝光材料的匮缺。