具有耐腐蚀层的陶瓷制品、结合了该陶瓷制品的半导体加工设备以及制造陶瓷制品的方法

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提供了一种制品，该制品包括基材和在该基材上的耐腐蚀涂层。该基材通常主要由氧化铝组成，耐腐蚀涂层与基材直接接触，因此在基材和耐腐蚀层之间不存在中间层，例如高温处理过程生成的反应产物。耐腐蚀涂层通常主要由稀土氧化物组成，其粘合强度不小于约15兆帕。根据特定的实施方式，所述制品是用来加工半导体晶片的半导体加工设备中所用的陶瓷部件。