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本发明公开了一种在大型水环真空泵泵体内壁制备抗垢涂层的方法。首先制备无水乙醇、去离子水的混合溶液,再加入纯度为99.999%的硝酸镱,搅拌20分钟后得到硝酸镱混合溶液。对大型水环真空泵泵体内壁分别进行喷砂和常规超声清洗,然后用气筒吹干。用恒流蠕动泵将制得的硝酸镱混合溶液输送到雾化喷嘴处,采用氩气作为雾化气体进行硝酸镱溶液雾化处理,雾化后具有一定速度的硝酸镱微小液滴送入直流等离子炬的高温区,微小液滴中的溶剂在高温高速环境下迅速挥发,水合硝酸镱受热分解,最终得到具有微纳米双重结构的氧化镱涂层。采用该方法获得的氧化镱涂层由于表面能较低,具有良好的抗垢性能。本发明方法采用稀土镱的溶液前驱体等离子喷涂技术,成本低、工艺简单、重复性好,具有较强的工程应用价值。