铝-镍-稀土类元素合金溅镀靶

文件类型：PDF文档
文件大小：761K
本发明系提供一种制造时以及使用时产生的扭曲(变形)较小、标靶精度可以良好且有效率的制造、而且可进行安定的成膜作业之铝－镍－稀土类元素合金溅镀靶。; 该铝－镍－稀土类元素合金溅镀靶，系含有镍与1或2个以上稀土类元素之铝基合金溅镀靶，其特徵为以2000倍以上的倍率观察垂直於该溅镀靶平面的剖面时，长径比为2.5以上的相当於圆直径0.2μm以上的化合物存在5.0×104个/mm2以上。