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一种稀土或复合稀土氟化物空心纳米粒子，它们是三氟化铕或者是铕、镝或钐中任意两者的复合稀土氟化物，粒径在80-250nm的空心球或粒径在200-440nm的空心六方体。本发明的稀土或复合稀土氟化物空心纳米粒子在生物、催化和分析等领域应用广泛。其制备方法经济环保，实用性广，具有广泛的应用前景。本发明公开了其制法。