酰胺镧配合物的合成方法及其在制备高K材料前驱体的应用

文件类型：PDF文档
文件大小：885K
本发明公开一系列酰胺类稀土金属镧配合物的合成方法是在惰性气体N2或者Ar2保护下，等摩尔量的酰胺配体与正丁基锂在-78℃～0℃下，反应1～5小时，反应得到酰胺锂盐；三氯化镧和酰胺锂(物质的量比为1∶3)在无水有机溶剂中，反应12～70小时后，将得到的澄清溶液抽干，经有机低极性溶剂萃取，过滤，滤液浓缩，冷冻结晶得到配合物。该类配合物具有挥发性好，活性高，合成简单，产率高，成本低等优点，可以作为前驱体制备得到的高K材料薄膜致密和均匀，颗粒在30nm-40nm之间。