稀土掺杂Bi2Te3基热电薄膜材料的制备方法

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本发明涉及一种稀土掺杂的Bi2Te3基热电薄膜材料，在真空熔炼时加入稀土元素，得到Bi2-xTe3REx块体热电材料，其中RE表示稀土元素，x＝0.002-0.01，所掺入的稀土元素为轻稀土元素La、Ce，然后将熔炼好的材料研磨成200-300μm的粉末颗粒作为闪蒸法的原材料。采用闪蒸法来实现薄膜的制备，对沉积的薄膜进行退火处理，得到稀土掺杂的Bi2-xTe3REx热电薄膜材料。本发明的稀土掺杂的Bi2-xTe3REx热电薄膜材料的热电性能优于未掺杂的Bi2Te3热电薄膜材料，其掺杂机理是稀土元素具有碱土金属类似的性质，当稀土元素加入后，容易取代Bi位置，作为施主掺杂，提高载流子浓度，从而提高Bi2Te3基薄膜材料的热电性能。