采用电沉积制备氟化锶或稀土掺杂氟化锶薄膜的方法

文件类型：PDF文档
文件大小：377K
本发明公开了一种采用电沉积制备氟化锶或稀土掺杂氟化锶薄膜的方法。包括如下步骤：1)用丙酮清洗ITO导电玻璃2～3次，再用去离子水将ITO导电玻璃放在超声波清洗器里清洗10～30分钟，接着将ITO导电玻璃放在10％的硝酸溶液中活化10～30秒，最后用去离子水清洗，待用；2)0.01～0.5mol/L乙二胺四乙酸二钠与锶离子的配合物溶液中，加入抗坏血酸钠，再加入氟化铵溶液，调节pH值为6～9，得到电解液，待用；3)以ITO导电玻璃为工作电极，铂电极为对电极，甘汞电极为参比电极，置于电解液中进行电沉积，相对于甘汞电极的阳极沉积电位为0.8V～1.4V，得到氟化锶薄膜。本发明的优势在于设备简单，低成本，常压低温。除了适合于科学研究外，有望实现大规模工业化生产。