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一种稀土Er掺杂Ge2Sb2Te5相变存储薄膜材料及其制备方法

2025-06-17 22:213500下载
文件类型:PDF文档
文件大小:710K
本发明公开了一种用于相变存储器的稀土Er掺杂Ge2Sb2Te5薄膜材料及其制备方法,特点是其化学结构式为(Er)x(Ge2Sb2Te5)100‑x,其中0
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