高纯氧化铈粉制备方法及包含其的CMP研磨浆

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本发明涉及一种形成高纯化中间体硝酸铈氢氧化物(Ce(NO3)3·6H2O)而制造氧化铈(CeO2)的方法，具体涉及一种在氯化铈组合物上滴定氢氧化钠后分为上清液(supernatant)与沉淀物(sediment)，并回收上述沉淀物(sediment)；为减少上述包含在沉淀物里的镨，微细喷射大量的净化水后通过过滤获得固体铈前驱体；使用上述通过在铈前驱体上滴定硝酸形成的硝酸铈氢氧化物制备氧化铈，并将通过滴定氢氧化钠净化及通过微细喷射大量净化水水洗形成的高纯硝酸铈氢氧化物作为中间体完成制备，因此不含各种稀土元素杂质，尤其是不含对CMP研磨浆物理特性有严重不良影响的镨的高纯氧化铈粉制备方法及包含其的CMP研磨浆。