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本发明属于电子材料技术领域。多元掺杂的高性能氧化铍陶瓷材料,除氧化铍外,还包括0.2~0.6%质量的多元掺杂剂;所述多元掺杂剂由MgO、Al2O3、SiO2、CaO、ZnO和稀土氧化物组成,各组分的质量百分比含量为:MgO:5~60%,Al2O3:0~40%,SiO2:20~95%,CaO:0.1~0.5%,ZnO:0~0.5%,含Y、La、Ce或Sm的单一或任意混合的稀土氧化物:0.01~0.5%。通过溶胶-凝胶法制备多元掺杂剂,然后与高纯氧化铍原料混合、成型、高温烧结后得到本发明的多元掺杂的高性能氧化铍陶瓷材料。本发明提供的多元掺杂的高性能氧化铍陶瓷材料具有较低的烧结温度、更高的密度、热导率和机械性能;其微观结构具有致密、晶粒均匀、气孔少的特点。其制备方法工艺简单、生产成本较低,且具有良好的重复性,适合于工业化生产。