含稀土元素玻璃材料及基板及含该基板之装置

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一种含有稀土族金属玻璃材料, 其组成份以％莫耳比表示包含：SiO2 66-75％, Al2O3 11-17％, B2O3 0-4％, MgO 1-6.5％, CaO 2-7％, SrO 0-4％, BaO 0-4％, Y2O3 0-4％, La2O3 0-4％, Y2O3+La2O3 0.1-4％。在组成份中Y2O3及/或La2O3将减小玻璃之T2.3, 因而允许制造出较高退火点之玻璃。玻璃特别有用於作为低温多晶矽为主之半导体装置。