扩散处理装置

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本发明涉及扩散处理装置，其具有：处理室；保持部件，在处理 室内，使容积体与R-Fe-B系稀土类烧结磁体相对配置，其中，容积 体含有重稀土类元素RH(选自Dy、Ho和Tb中的至少一种)，R-Fe -B系稀土类烧结磁体具有含有轻稀土类元素RL(Nd和Pr中的至少 一种)作为主要的稀土类元素R的R2Fe14B型化合物晶粒作为主相； 和加热单元，将处理室内的温度调节为700℃以上、1000℃以下，该扩 散处理装置构成为，对处理室内进行减压，利用加热单元，对容积体 和R-Fe-B系稀土类烧结磁体进行加热处理，由此将重稀土类元素 RH从容积体供给到R-Fe-B系稀土类烧结磁体的表面，同时使重稀 土类元素RH扩散到R-Fe-B系稀土类烧结磁体的内部。