多晶氧化镁材料及其制造方法和氧化镁膜的制造方法

文件类型：PDF文档
文件大小：1287K
本发明提供通过电子束蒸镀法能够形成高度均匀地分散有稀土类金属的氧 化镁膜的蒸镀材料。多晶氧化镁材料包含平均结晶粒径为2.0～50μm的氧化镁结 晶粒子的多晶体，稀土类金属以0.005～0.060质量％的量分散在氧化镁结晶粒子 中。