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积体电路之电接触件及利用气体团簇离子束处理以形成该电接触件之方法

2025-06-25 01:534440下载
文件类型：PDF文档
文件大小：3232K
本发明之实施例揭露一种积体电路之电接触件及利用气体团簇离子束(GCIB)处理的形成方法。此接触件包含藉着将图案化结构暴露至包含过渡金属前驱物或稀土金属前驱物之气体团簇离子束所形成。


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