AI-Ni-稀土类元素合金溅射靶

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本发明提供一种可以减小制造时以及使用时所产生的翘曲(变形)， 并能够高精度、高效率地制造靶，而且可以进行稳定的成膜作业的Al-Ni- 稀土类元素合金溅射靶。是一种包含Ni以及1或2种以上稀土类元素的 Al基合金溅射靶，其特征在于，在以倍率：2000倍以上观察与该靶平面 垂直的剖面的时候，纵横尺寸比为2.5以上、且当量圆直径为0.2μm以上 的化合物存在5.0×104个/mm2以上。