氧化铈系研磨材料、其制造方法及用途

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本发明提供研磨速度快、可得到伤痕的发生少、表面粗糙度小的高精度研磨面，并且安全、制造工序简便、且廉价的氧化铈系研磨材料及其制造方法。本发明的氧化铈系研磨材料的制造方法，包括：(a)在含铈的轻稀土类盐的水溶液中添加沉淀剂，使轻稀土类的盐析出，得到含有轻稀土类盐粒子的第1浆液的工序；(b)在含有轻稀土类盐粒子的浆液中添加氟化剂，使轻稀土类的盐和氟化剂反应，得到含有轻稀土类氟化物粒子的第2浆液的工序；(c)将第1浆液和第2浆液混合，得到混合浆液的工序；及(d)对混合浆液进行干燥和烧成的工序。另外，本发明的氧化铈系研磨材料，是用该方法制造的。